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ALD与XPS在半导体研究应用和装备开发
2025-04-21
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董红,南开大学电子信息与光学工程学院教授,博士生导师,从事半导体材料、器件研究,并开展ALD与XPS等材料表面分析仪器国产化和产业化工作。发表与合作发表了90多篇论文,获得了多个ALD和XPS的整机以及核心零部件的国家发明专利。


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