应我院邀请，南开大学董红教授于4月23日上午8:30在物理北楼C-208举行题为《ALD与XPS在半导体研究应用和装备开发》的专题学术讲座。学院负责人、师生代表70余人参加讲座。讲座由副院长王芳主持。

董红教授首先介绍了团队在ALD和XPS方面的真空装备开发和产业化进展；其次，详细讲述了利用自研ALD沉积的HZO铁电器件和光刻胶等多种薄膜沉积工艺开发，以及利用XPS技术进行的物性表征工作；最后对团队的产学研成果进行了简要介绍，并对研究热点进行了展望。

讲座结束后，董红教授和与会师生与进行了互动交流，并鼓励青年教师去南开大学交流，鼓励学生去深造。现场学术氛围浓厚，互动场面热烈。

（文 徐世周）

南开大学电子信息与光学工程学院教授，博士生导师，从事半导体材料、器件研究，并开展ALD与XPS等材料表面分析仪器国产化和产业化工作。发表与合作发表了90多篇论文，获得了多个ALD和XPS的整机以及核心零部件的国家发明专利。