2026年5月10日上午，中国科学院上海微系统与信息技术研究所张凯欢研究员应我院邀请，在物理南楼217会议室作了题为“基于飞秒激光的MEMS微纳制造与生物传感技术”的学术报告。学院教师及研究生30余人到场学习，报告由院长于坤主持。

报告围绕飞秒激光微纳加工技术与MEMS生物传感器件的研究展开，重点介绍了课题组在微纳结构制造、敏感界面构筑以及生化传感应用等方面取得的研究进展。

张凯欢研究员团队长期围绕飞秒激光加工与MEMS微纳制造技术展开研究。报告首先介绍飞秒激光具有超短脉冲、高峰值功率及低热影响等优势，在复杂微纳结构加工与高精度器件制备中具有重要应用价值。团队结合MEMS工艺，发展了兼容半导体集成电路的有机高分子界面修饰方法，并融合表面引发聚合、双光子3D打印及自组装技术，实现了可控微纳结构与敏感表界面的构筑。在应用研究方面，实现了微纳流体通道的一体化加工，用于纳米级外泌体的高效介电电泳分选；构建了亚10 nm金属图案化工艺，可用于增强拉曼信号及垂直结构器件设计；同时在生物电子界面方面实现了惰性材料的高分子功能化修饰，突破传统MEMS生物兼容性限制。相关研究为高性能微纳传感器及生物检测器件的发展提供了新路径。

在交流环节，现场师生与张凯欢研究员进行了深入讨论。此次学术报告不仅加深了师生对MEMS微纳制造与生物传感技术前沿进展的认识，也为相关领域的科研工作提供了新的研究思路与启发。

（文 张凯华）