X射线光电子能谱仪

仪器名称

X射线光电子能谱仪

仪器型号

Nexsa G2

厂家/国别

赛默飞/捷克

仪器位置

科技创新港校区生命科学学院1-132室

管理人员

何玉晓、高圣博

主要功能

赛默飞Nexsa G2型XPS能提供全自动、高通量的表面分析，能够实现样品在不同深度情况下的常规XPS、UPS、ISS、REELS等测试。广泛应用于材料科学、化学化工、半导体及薄膜、能源电池、微电子、信息产业、环境等高新技术领域。

性能指标

1、分析室极限真空：2x10^-9 mbar；

2、X射线光源束斑面积10μm - 400μm可调；

3、XPS测试：对于Ag3d5/2谱峰，400 μm条件下的强度为2.0Mcps@0.60eV，20 μm条件下的强度为30kcps@0.60eV；

4、UPS测试：对Ag费米边，当能量分辨率≤120 meV时，Ag4d信号强度≥2.0 Mcps。

样品要求

1、样品必须干燥，在超高真空中及X光照射下不分解，不释放气体，无强磁性及放射性；

2、不接收S/P/Br/I/Pb/F/Hg等单质样品。

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