聚焦离子束扫描电子显微镜

仪器名称

聚焦离子束扫描电子显微镜

仪器型号

Scios 2 HiVac

厂家/国别

赛默飞/荷兰

仪器位置

科技创新港校区生科大楼1-120室

管理人员

高圣博

主要功能

1、可用于制备截面TEM样品；

2、可对材料科学、新能源等领域样品进行高分辨率的形貌观测及元素分析。

性能指标

1、离子光学：

1.1 离子源种类为液态Ga离子源；

1.2 分辨率： 3.0 nm@30 kV；

1.3 加速电压：0.5~30 kV；

1.4 束流强度：1.5 pA~65 nA。

2、电子光学：

2.1 电子枪类型：肖特基场发射灯丝；

2.2 分辨率： 1.0 nm@15 kV，1.2 nm @1 kV；

2.3 加速电压：2~30 kV；

2.4 束流强度：1 pA~400 nA。

样品要求

1、不可制备磁性TEM样品；

2、无油、无挥发性物质，含水样品、多孔类或易潮解样品需提前干燥处理；

3、粉末样品不能含有铁、钴、镍等磁性元素。

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