报 告 人：上海交通大学 杨卓青 教授
报告名称：非硅MEMS三维集成制造典型器件及应用
报告时间：2021年12月11日 9:00
报告地点：腾讯会议（ID: 412-338-002）
报告人简介：
杨卓青，教授，博士生导师，上海交通大学“微米/纳米加工技术国家级重点实验室”研究员。2011-2013年期间，在日本国立产业技术综合研究所（AIST）任JSPS博士后特别研究员。目前任职于上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系，长期致力于MEMS惯性开关、柔性纤维/圆管/毛细管等表面的三维MEMS集成制造、PowerMEMS等相关研究，拥有20多项中国发明专利和1项日本专利，在IEEEJMEMS、IEEETED、Adv Mater、Adv Energy Mater、Nano Energy、Lab Chip等国际期刊上发表论文100多篇，并受邀担任IEEE NEMS、IEEE INEC、APCOT、CSMNT等多个国际学术会议的TPC成员和分会主席，为Micro and Nanosystems、Nanomanufacturing、《功能材料与器件学报》等多个学术期刊编委。曾获2016年“上海市技术发明一等奖”、2019年“工信部国防科技进步三等奖”，并于2014年入选“上海市浦江人才计划”。目前为中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事、中国微米纳米技术学会微纳机器人分会理事、中国微米纳米技术学会高级会员、中科院深圳先进技术研究院客座研究员、IEEE高级会员。
