ALD与XPS在半导体研究应用和装备开发

董红，南开大学电子信息与光学工程学院教授，博士生导师，从事半导体材料、器件研究，并开展ALD与XPS等材料表面分析仪器国产化和产业化工作。发表与合作发表了90多篇论文，获得了多个ALD和XPS的整机以及核心零部件的国家发明专利。